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真空PVD镀膜基本步骤

编辑:  来源:  更新时间:2019-3-26 9:32:18  点击次数:
1、前处理工艺
褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹。
 
2、镀膜工艺
抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉。
 
3、后处理工艺
清洗:确保镀膜前产品表面的清洁,越新鲜的表面,越能保证镀膜质量。
抽真空:将真空室内的残余气体抽走。
加热烘烤:炉体和工件同时加热,加速残余气体的释放。
压升率测试:测试炉体的漏气率和放气率。
轰击清洗:去除工件表面的杂志,露出新鲜表面。
镀膜:沉积膜层。
冷却:避免工件氧化变色。
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