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磁控溅射法定义是什么？
编辑：澳门一沙金网址娱乐网站 来源：http://www.wzcczk.com 更新时间：2023-5-15 9:54:16 点击次数：
磁控溅射
法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。
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