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澳门一沙金网址娱乐网站改进后的镀膜结构

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澳门一沙金网址娱乐网站改进后的镀膜结构
 根据现有比较片结构在使用过程中暴露出的问题,对原有通用镀膜机比较片结构进行多次的改进,形成以下的结构,如图2(a)、(b)所示。通过设计可重叠放置比较片存储筒,使比较片机构直径所占面积减小,但放置的比较片数量增加到20 片左右, 整个机构直径缩小为Φ89mm。结果可增加较小工件镀膜盘上装载工件的数量,提高生产效率,还可以提高薄膜监控的精度,并降低对硬件系统的要求,容易实现对系统的自动控制。
 具体动作实施,改进后多片比较片机构的转动,通过连接板23 和连接块21 固定在真空室顶板上,比较片机构的旋转运动,由旋转密封轴把运动输入真空室内的大齿轮,带动小齿轮所在传动轴24 的转动,最终实现整个比较片机构的转动。比较片切换比较片时,通过拨盘29 转动一个工位,比较片存储筒219 内落下一个比较片,到达预设的位置,同时,切换的比较片随着工位转动落在比较片接受筒212 内,每切换一次,拨动一个工位。其中,传动轴24、大齿轮、小齿轮和轴承座组成的传动机构来完成拨盘转动。
 其特点是:(1)减小比较片机构直径的面积,提高装载镀制工件的数量;(2) 增加比较片的数量,提高生产效率,提高薄膜监控的精度,降低对硬件系统的要求,系统容易实现自动控制。缺点:该比较片结构直径小而长(Φ89×370),影响其使用的强度和刚度;由于该结构暴露在高温溅射磨料的真空室内,影响其转动平稳性、灵活性,且转动位置重复的一致性较差,维护清洗频繁费工。
2、镀膜机比较片优化设计机构
 在澳门一沙金网址娱乐网站发展过程中,澳门一沙金网址娱乐网站比较片在光学镀膜机中担负着装载比较片的功能。比较片装载数量少,限制光学薄膜的镀制层数;比较片有效面积小,光路调整不方便,光信号的信噪比差,严重影响光学薄膜的质量。根据现在镀膜产品的要求,现有的澳门一沙金网址娱乐网站比较片机构,已不能满足现代光学30 层以上精密光学薄膜的镀膜要求。为解决现有技术上存在的缺陷,综合以上两种比较片结构优缺点和新产品镀膜的要求,创新、优化设计新一代的比较片机构,该装置要满足:结构简单;比较片装载方便;重复定位性好;可靠性高;制造成本低等特点。
 澳门一沙金网址娱乐网站多片式比较片装置,有比较片装载换位机构、转动密封馈入机构和换位驱动机构,如图3 所示。
 换位驱动机构固定在镀膜机箱体顶板4 上,由电机9、主动齿轮8、从动齿轮7、和定位盘6 组成,其中从动齿轮7 和定位盘6 固定在轴1 上,定位盘6 上有3 个均分的狭缝,槽型光藕17 在狭缝处接受光信号,控制电机的旋转和停止。
 转动密封馈入机构由威尔逊密封机构5 和轴承座2 组成,轴承座2 外侧套装有固定筒3,固定在镀膜机箱体顶板4 上。装载换位机构由拨动盘15、支承盘16、上盘14 和比较片存储筒13 组成。拨动盘15 连接的拨动轴11,通过联轴器10 和密封馈入机构的轴1连接。

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