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澳门一沙金网址娱乐网站多片式比较片装置的设计特点

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澳门一沙金网址娱乐网站多片式比较片装置的设计特点
 1)固定筒3 圆筒形状、大直径、厚壁结构的设计和周向对称的固定方式,可保证其有足够的强度和刚度,同时,还可阻止高温溅射磨料对其内部零部件污染,保证拨动盘15 转动的灵活性。
 2)圆形轴承座2 的设计,保证轴承座安装的密封性和垂直度;增大轴1 的直径尺寸,加大轴承座2 中两轴承的安装间距,提高其自身的强度和刚度,保证转动过程中轴1 的刚度和拨动盘15的旋转灵活性、位置重复的一致性。
 3)装载换位机构,通过扩大支承盘16 的直径,使该机构在平面方向的有效面积增大,可安装直径大(Φ26.5mm)的比较片,有利于光路调整,提高光学薄膜质量;比较片12 由单片玻璃作为一个比较片单元,比较片采用空间立体叠加安装方式,多片玻璃叠加安装在一个比较片存储筒13 内,实现一次可放置50~100 片比较片,解决镀膜机镀制多层精密光学薄膜,比较片数量少影响镀膜层数和精度的问题。
 4)定位盘6 与槽型光藕17 的配合,通过槽型光藕来感知定位盘上三个均分的120°狭缝,控制电机转动停止。轴1 旋转定位重复的一致性得到保证,带动拨动盘15 完成准确的拨片动作。
 5) 转动密封馈入机构引入威尔逊密封机构5,既保证电机9 通过齿轮啮合带动轴1 的灵活转动,又保证真空室对外部的密封作用。优化设计的澳门一沙金网址娱乐网站多片式比较片装置,其特点:(1)结构简单,强度高,可靠性好;(2)比较片装载数量大,生产效率提高,可镀制超多层精密光学薄膜;(3)比较片直径增大,提高薄膜监控的精度,降低对硬件系统的要求,系统容易实现自动控制;(4)维护保养费用低。
 通过对澳门一沙金网址娱乐网站多片式比较片装置的优化设计,保证了比较片机构拨片转动的灵活性和重复的一致性,解决了比较片有效面积小,光路调整不方便,光信号信噪比差的问题,又解决了比较片装载数量少的问题,可以使现有的澳门一沙金网址娱乐网站镀制光学薄膜的质量大大提高,并且30 层以上的光学薄膜得以镀制完成。实践证明此比较片结构是有用的,可以在现代的光学真空镀膜行业进行推广和实施,

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