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真空镀膜设备塑料真空镀膜设备

编辑:澳门一沙金网址娱乐网站  来源:  更新时间:2021-10-27 10:24:06  点击次数:

真空镀膜设备塑料真空镀膜设备

塑料真空镀膜设备的发展相当快,随着生产率的提高,生产费用大大降低,已经为真空镀膜产品的普遍使用铺平了道路。以卷绕式澳门一沙金网址娱乐网站为例,刚开发时可镀的薄膜基材宽度是150mm,目前已达2253mm。基材卷筒的最大卷径是1000mm,最大卷绕速度750m/min。自动装卸的半连续卷绕式澳门一沙金网址娱乐网站镀膜时间占整个周期的75%,辅助操作时间只占25%。效率更高的从大气到大气的卷绕式澳门一沙金网址娱乐网站已于1977年出售。随着计测技术、控制技术的进步和电子计算机的应用,卷绕式澳门一沙金网址娱乐网站正向着高度自动化和高度可靠性的方向发展。
卷绕式澳门一沙金网址娱乐网站能够沉积的镀膜层厚度范围为0.01-0.2μm,可以在这个范围内选择,有的还可以镀多层膜,满足多种需要。日本专利提出沉积两种不同镀膜材料的卷绕式蒸镀装置。
真空镀膜设备塑料真空镀膜设备该装置的真空室(6)分为上室(7),左下室(8)和右下室(9)。蒸镀时,两组蒸发源(19、23)蒸发的镀膜材料(21、25)分别沉积在塑料薄膜(11)上,在塑料薄膜没有蒸镀的一侧,装上辉光放电发生器(15、16)。发生器产生的辉光放电气体能防止塑料薄膜起皱。使用这套装置可以在极薄的塑料薄膜上镀上无折皱的多层膜,用于制磁带和薄膜太阳能电池等。
真空镀膜设备塑料真空镀膜设备高速低温溅射法发展很快,使高熔点金属如铬、钛、钨、钼等的沉积成膜成为可能。镀膜室直径1400mm,高2200mm的大型钟罩式溅射镀膜机和长13mm,宽7.6mm的大型串列式溅射镀膜机已投入使用。最近,日本专利提出一种卷绕式溅射镀膜机,该机可镀两种不向的镀膜材料,并在第一溅射区和第二溅射区之间装温度控制装置(13),加强对基材的冷却,保证在镀膜层较厚和沉积速度较快的情况下,基材不会发生卷缩和变形。该装置示意图见图1。真空室(1)装有溅射靶(4a,4b)和阳极(14a,14b),两个靶分别与直流电源(5a,5b)相接,对塑料薄膜(8)进行溅射。辊筒(11a,11b,11c))有各自的冷却温度。
真空镀膜设备
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