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编辑:驰诚机械  来源:温州驰诚机械设备有限企业  更新时间:2017-9-30 8:35:13  点击次数:
一、当正在镀膜时真空度突然下降:
1、蒸发源水路胶圈损环(更换胶圈)
2、坩埚被打穿(更换坩埚)
3、高压电极密封处被击穿(更换胶圈)
4、工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈)
5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)
6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)
7、机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常)
8、烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈)
9、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈)
10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)
 
二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空:
1、蒸发室有很多粉尘(应清冼)
2、扩散泵很久未换油(应清冼换油)
3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低(应清冼换油)
4、各动密封胶圈损坏(更换胶圈)
5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化(更换胶圈)
6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈)
7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象(重新压紧)
8、高低预阀是否密封可靠(注油)
 
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